HiKM은 반도체 공정 검사와 백사이드 리뷰 목적에 맞춰 BSR-1000, BSR-2000, SEM-REELS 제품군을 구분해 안내합니다.
BSR-1000은 300mm Wafer Backside Review SEM으로, 웨이퍼를 보존한 상태에서 백사이드 결함 리뷰, SEM 관찰, EDS 분석, 공정 피드백을 연결하는 솔루션입니다.
BSR-2000과 SEM-REELS는 개발 로드맵 단계의 제품으로, 공개 가능한 범위에서 개발 방향과 기술 검토 항목을 순차적으로 안내합니다.
핵심 내용
- BSR-1000: 상담 가능한 Backside Review SEM
- BSR-2000: 차세대 In-Line SEM 개발 로드맵
- SEM-REELS: KRISS 협력 기반 SEM 확장 분석 기술
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