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SPEC SHEET

BSR-1000仕様検討シート

ウェーハバックサイドレビュー装置導入時に確認すべき試料、ハンドリング、検出器、出力項目を整理しました。

資料説明

BSR-1000導入検討時に必要な試料条件、ハンドリング範囲、検出方式、分析結果出力項目を確認するための仮仕様資料です。

正式資料の準備前のため、現在は仮ファイルをダウンロードするよう接続しています。

関連資料や正式ファイルが必要な場合は、お問い合わせフォームからご依頼ください。