サポート

製品問い合わせと技術相談をここから始めましょう

A model name alone is not enough to determine the right SEM configuration. We start consultation by reviewing process context, samples, defect types, automation level, and service issues together.

製品問い合わせ

Configuration review for BSR-1000, CD-SEM, Review SEM, and custom solutions

Process consultation

Review goals for defect review, VC defects, backside analysis, and elemental analysis

資料室

カタログ、製品資料、仕様表のダウンロード領域

View Resources
Technical support

Consultation for recipes, ADR/ADC/EDS, data upload, and operation conditions

Maintenance / refurbishment

Legacy tool maintenance, parts support, and robot overhaul consultation

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