Technical Support

Technical support and service for stable operation

This page separates equipment inspection, maintenance, and operation inquiries so support information can be shared quickly.

Inspection request

Reviews equipment status, symptoms, and usage environment.

Maintenance

Organizes regular inspection and consumable inquiries.

Operation support

Supports operation consultation by usage condition and inspection goal.

製品問い合わせ

Configuration review for BSR-1000, CD-SEM, Review SEM, and custom solutions

Process consultation

Review goals for defect review, VC defects, backside analysis, and elemental analysis

資料室

カタログ、製品資料、仕様表のダウンロード領域

View Resources
Technical support

Consultation for recipes, ADR/ADC/EDS, data upload, and operation conditions

Maintenance / refurbishment

Legacy tool maintenance, parts support, and robot overhaul consultation

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  • 保有期間の満了または処理目的の達成時には、遅滞なく破棄します。

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お問い合わせ内容をお送りいただければ、担当者が確認後ご連絡いたします。