BSR-1000
A Backside Review SEM system that reduces process feedback time through in-fab, non-destructive wafer backside inspection and failure analysis.
SEM & E-beam Technology Partner
HiKM
SEM solutions for semiconductor in-line metrology, inspection, backside review, and legacy tool improvement.
제품 · 기술 · 적용분야
事業内容
An SEM technology partner connecting equipment, process, and operation expertise
HiKM supports equipment planning and operating-condition review based on practical understanding of semiconductor metrology and inspection, including CD-SEM, Defect Review SEM, e-beam inspection, ADR/ADC/EDS, and wafer backside review.
Key Highlights
非破壊Backside Review SEMを中心とした次世代検査ソリューション
HiKMはBSR-1000、BSR-2000、SEM-REELSを通じて破壊分析の限界を低減し、In-Fab検査・レビュー・工程フィードバックフローを高度化します。
BSR-1000
非破壊Backside Review SEM Application
160x
TAT短縮目標
100x
分析点数拡大目標
KRISS
SEM-REELS原천技術協力
Why HiKM
装置、工程、分析フローをつなぐSEM技術パートナー
HiKMは半導体計測・検査フローへの理解をもとに、製品検討から技術相談、用途別の導入条件まで一貫して案内します。
製品
SEM製品ラインアップ
現在相談可能なBSR-1000を中心に案内し、BSR-2000とSEM-REELSは開発ロードマップ段階のモデルとして限定的に紹介します。
BSR-2000
開発ロードマップに含まれる次世代SEM検査モデルです。詳細仕様と公開範囲は開発段階に合わせて順次案内予定です。
SEM-REELS
拡張型SEMソリューションとして検討中の開発モデルです。製品構成と適用範囲は公式公開時に案内されます。
技術
SEM原理とe-beam技術を分かりやすく説明する技術ページ
技術メニューは単なる宣伝文句ではなく、購入検討者が確認すべき原理、構成、適用条件、差別化要素を整理する場所として設計しています。
- SEM原理と観察プロセス
- e-beam制御と検査安定性
- サンプル/工程別の導入検討ポイント
適用分野
精密製造産業の検査・分析課題に対応
お問い合わせ
製品検討と技術相談を始めましょう
検討中の試料、工程、設置環境、必要な解像度と自動化範囲をお知らせいただければ、適切な製品構成と次の相談ステップを提案できます。