Product List
SEM製品ラインアップ
製品一覧で適用目的と開発段階を確認し、詳細ページで性能ポイント、仕様、用途、お問い合わせの流れを確認できます。
ALLReview SEMRoadmapAnalysis Technology
SEM Products
SEM Products
半導体工程の検査・レビュー・分析目的に応じて製品を選択できます。
相談可能
BSR-1000
Backside Review SEM300mmウェーハバックサイド欠陥をFab内で非破壊レビューし、SEM観察・成分分析・工程フィードバックを連携します。
- 300mm Wafer
- Non-destructive Review
- SEM + EDS
開発ロードマップ
BSR-2000
Next-generation In-Line SEMBSR-1000の経験を基に、次世代In-Line SEM、HBM4/HBF工程、Flip System、国産化方向を検討するロードマップモデルです。
- 300mm Backside Review
- HBM4 / HBF
- Flip System
技術ロードマップ
SEM-REELS
SEM-REELSKRISS協力に基づくSEM拡張分析技術で、表面・界面評価と次世代分析応用を目標に開発中です。
- KRISS Collaboration
- Surface / Interface
- SEM Extension