FAQ

Frequently asked questions before equipment adoption

Common questions about product review, installation conditions, resources, and consultation are organized here.

製品検討

Guides which product family to review first.

Installation

Basic checks for space, power, and operating environment.

Resources

Explains how to request catalogs and specification sheets.

製品問い合わせ

Configuration review for BSR-1000, CD-SEM, Review SEM, and custom solutions

Process consultation

Review goals for defect review, VC defects, backside analysis, and elemental analysis

資料室

カタログ、製品資料、仕様表のダウンロード領域

View Resources
Technical support

Consultation for recipes, ADR/ADC/EDS, data upload, and operation conditions

Maintenance / refurbishment

Legacy tool maintenance, parts support, and robot overhaul consultation

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