KRISSとの協力を基盤に、技術高度化と商用化可能性を検討します。
技術フォーカス
SEM分析領域の拡張
SEMベースの電子エネルギー損失分析により、表面・界面分析情報を拡張します。
半導体、バッテリー、先端材料分析ラボのプロセス分析ニーズを考慮します。
R&D Pipelineと標準化戦略に合わせて製品化方向を検討します。
開発方向
適用方向
半導体分析ラボ
薄膜、表面、界面分析が必要な半導体R&Dおよびプロセス分析分野への適用可能性を検討します。
バッテリーおよび先端材料
材料表面状態、組成変化、分析標準化が必要なバッテリー・先端材料分析ニーズを考慮します。
SEMプラットフォーム拡張
従来のSEM観察情報を拡張し、定量・比較分析の可能性を高める方向で技術を検討します。
商用化推進
公開可能な仕様、適用範囲、分析事例は、技術検証および商用化段階に合わせて更新します。
SEM-REELSは技術ロードマップ製品です。研究協力、商用化日程、性能数値は公式公開可能な範囲でのみ案内します。