製品検討に必要な資料をまとめて確認できます

BSR-1000、BSR-2000、SEM-REELSの適用目的と製品検討ポイントを整理した製品案内資料です。

ウェーハバックサイドレビュー装置導入時に確認すべき試料、ハンドリング、検出器、出力項目を整理しました。

電子ビーム照射、信号発生、検出、画像形成までのSEM観察フローを技術購買担当者の視点で説明します。

CD計測、欠陥レビュー、プロセスモニタリング、バックサイド分析など、半導体製造現場での適用方向を整理しました。

相談前に確認しておきたい試料情報、目標分解能、自動化範囲、設置環境、保守課題を整理しました。