BSRシリーズ製品ラインアップ案内

HiKMは半導体工程検査とバックサイドレビュー目的に合わせ、BSR-1000、BSR-2000、SEM-REELS製品群を案内します。

BSR-1000はウェーハを保持した状態でバックサイド欠陥レビュー、SEM観察、EDS分析、工程フィードバックをつなぐソリューションです。

BSR-2000とSEM-REELSは開発ロードマップ段階の製品であり、公開可能な範囲で開発方向を順次案内します。