SEM装置検討前には、観察対象、欠陥タイプ、分析信号、自動化範囲、設置環境を整理することが重要です。
HiKMは顧客工程条件に合わせ、SEM観察、EDS分析、ADR/ADC、データアップロード、工場自動化連携を検討します。
仕様確定前でも適用目的と運用条件を共有いただければ、装置構成方向を迅速に整理できます。
主な内容
- 試料と欠陥タイプ
- 必要な分析信号とレポート形態
- 自動化・設置・ユーティリティ条件
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